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產品及服務項目


3D 雷射檢測機

 
•應用範圍
  Ø光學產業:產品形狀、曲率及刮傷、透明玻璃、半透明物體表面高度量測。
  Ø機械產業:微RP元件、MEMS元件。
  Ø半導體產業:晶圓的表面輪廓、晶圓的表面粗糙度。
  Ø金屬加工產業:模具、EBT加工表面。

 

型號 LSI 3000
規格
 Ø 解析精度達 0.1 µm 以上。
 Ø 重覆精度達 ≦  ±0.2 µm 。
 Ø 掃描寬度為7mm,掃描速度 10mm/秒。
 Ø 3D高度圖輸出。